| 主权项 |
1.一种研磨液回路传送方法,包括下列步骤:a.利用一第一管件自一第一研磨液筒中将研磨液抽出;以及b.利用一第二管件将输入之研磨液送入该第一研磨液筒中。2.如申请专利范围第1项所述之传送方法,其中该第一管件包括一第一泵,且该第二管件包括一第二泵。3.如申请专利范围第2项所述之传送方法,其中步骤a中更包括利用该第一管件将抽出之研磨液送入一第二研磨液筒中;以及步骤b中更包括利用该第二管件将研磨液自该第二研磨液筒中抽出。4.如申请专利范围第3项所述之传送方法,其中该第一研磨液筒与第二研磨液筒中,分别装设有一磁石搅拌器。5.如申请专利范围第1项所述之传送方法,其中该第一研磨液筒中装设有一磁石搅拌器。6.如申请专利范围第5项所述之传送方法,其中在步骤a之后与步骤b之前,更包括:将抽出之该研磨液传送至一T型连接管件;以及利用该T型连接管件将该研磨液传送至该第二管件。7.如申请专利范围第6项所述之传送方法,其中该第一管件包括一泵。8.如申请专利范围第5项所述之传送方法,其中在步骤a之后与步骤b之前,更包括:将抽出之该研磨液传送至一液体抽送多工装置;以及利用该液体抽送多工装置将该研磨液传送至该第二管件。9.一种研磨液回路传送装置,用以防止金属研磨液沉淀;该装置包括:一第一研磨液筒,内含一第一磁石搅拌器;一第二研磨液筒,内含一第二磁石搅拌器;一第一管件,用以将该第一研磨液筒中之研磨液抽出,送入该第二研磨液筒中;以及一第二管件,用以将该第二研磨液筒中之研磨液抽出,送入该第一研磨液筒中。10.如申请专利范围第9项所述之传送装置,其中该第一管件与第二管件中,分别包括一泵,用以将研磨液从该研磨液筒中抽出11.一种研磨液回路传送装置,藕接至一化学机械研磨装置,用以防止金属研磨液沉淀,其中,该化学机械研磨装置内含一第一泵;该装置包括:一研磨液筒,内含一磁石搅拌器;一第一管件,用以将该研磨液筒中之研磨液抽出;一T型连接管件,包括一第一端子与一第二端子,该第一端子连接该第一管件,用以使该抽出之研磨液自该第一端子流入,而自该第二端子流出;以及一第二管件,连接该T型连接管件的该第二端子,用以将自该第二端子流出之研磨液送入该研磨液筒中。12.如申请专利范围第11项所述之传送装置,其中,该第一管件包括一第二泵。13.如申请专利范围第12项所述之传送装置,其中该传送装置更包括一第三管件,其中一端连接至该第一泵,且该T型连接管件更包括一第三端子,连接至该第三管件的另一端。14.如申请专利范围第13项所述之传送装置,其中该第二泵所控制之研磨液流量大于该第一泵所控制之研磨液流量。15.如申请专利范围第14项所述之传送装置,其中该第二泵所控制之研磨液流量约系300ml/min,而该第一泵所控制之研磨液流量约系150ml/min。16.一种研磨液回路传送装置,藕接至一化学机械研磨装置,用以防止金属研磨液沉淀;该装置包括:一研磨液筒,内含一磁石搅拌器;一液体抽送多工装置;一第一管件,连接该液体抽送多工装置与该化学机械研磨装置,用以将研磨液送到该化学机械研磨装置;一第二管件,连接该研磨液筒与该液体抽送多工装置,该液体抽送多工装置利用该第二管件将研磨液从该研磨液筒中抽出,并传送至该第一管件中;一第三管件,连接该研磨液筒与该液体抽送多工装置,该液体抽送多工装置利用该第三管件将研磨液从该研磨液筒中抽出;以及一第四管件,连接该研磨液筒与该液体抽送多工装置,该液体抽送多工装置利用该第四管件将经由该第三管件抽出之研磨液,送回该研磨液筒中。17.如申请专利范围第16项所述之传送装置,其中该第二管件在研磨液筒中的深度大于第四管件在研磨液筒中的深度。18.如申请专利范围第16项所述之传送装置,其中该液体抽送多工装置包括:一第一薄膜推挽泵,用以将研磨液从该第二管件送到该第一管件;一第二薄膜推挽泵,用以将研磨液从该第三管件送到该第四管件;一4管路螺线管阀,具有一第一与第二输入端以及一第一与第二输出端;一第五管件,连接该4管路螺线管阀之该第一输出端与该第一薄膜推挽泵;一第六管件,连接该4管路螺线管阀之该第二输出端与该第二薄膜推挽泵;一第七管件,将该4管路螺线管阀之该第一输入端连接至一压缩气体,利用该压缩气体以控制该第一薄膜推挽泵和第二薄膜推挽泵的操作;以及一第八管件,将该4管路螺线管阀之该第二输入端连接至一真空状态,利用该真空状态以控制该第一薄膜推挽泵和第二薄膜推挽泵的操作。19.如申请专利范围第18项所述之传送装置,其中该液体抽送多工装置可分别独立控制第一管件和第三管件研磨液的流量。20.如申请专利范围第18项所述之传送装置,其中该第一与第二薄膜推挽泵分别包括一输入检查阀与一输出检查阀。21.如申请专利范围第20项所述之传送装置,其中该第一薄膜推挽泵的该输入检查阀连接至该第二管件,而该输出检查阀连接至该第一管件。22.如申请专利范围第20项所述之传送装置,其中该第二薄膜推挽泵的该输入检查阀连接至该第三管件,而该输出检查阀连接该第四管件。图示简单说明:第一A-一B图分别绘示习知一种化学机械研磨装置的俯视与侧视图。第二图系显示依照本发明之第一实施例,一种研磨液回路传送线装置的配置示意图。第三图系显示依照本发明之第二实施例,一种研磨液回路传送线装置的配置示意图。第四图系显示依照本发明之第三实施例,一种研磨液回路传送线装置的配置示意图。第五图系显示第四图中之液体抽送多工装置44的配件示意图。 |
