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发明名称
Detecting device
摘要
申请公布号
EP0553826(B1)
申请公布日期
1998.04.01
申请号
EP19930101334
申请日期
1993.01.28
申请人
CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人
YOSHII, MINORU;NOSE, HIROYASU;TAKEUCHI, SEIJI
分类号
G01B11/00;G01D5/38;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G01D5/38
主分类号
G01B11/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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