发明名称 Use of alkoxy N-Hydroxyalkyl alkanamide as resist removing agent composition for removing resist method for preparing the same and resist removing method.
摘要
申请公布号 GB9918418(D0) 申请公布日期 1999.10.06
申请号 GB19990018418 申请日期 1999.08.04
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO LIMITED 发明人
分类号 G03F7/42 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人
主权项
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