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发明名称 Fluid treatment apparatus and method
摘要
申请公布号 EP0578040(B1) 申请公布日期 1998.04.01
申请号 EP19930109877 申请日期 1993.06.21
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BARD, STEVEN LINDZ;JONES, JEFFREY DONALD;KATYL, ROBERT HENRY;MOORE, RONALD JAMES;MORENO, OSCAR AUREO
分类号 B05C5/02;B05D1/36;B08B3/02;C23F1/08;F26B21/00;H01L21/304;H05K3/00;H05K3/22;H05K3/26;(IPC1-7):H05K3/00 主分类号 B05C5/02
代理机构 代理人
主权项
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