发明名称 METHOD OF MEASURING HYDROGEN DENSITY IN SILICON CRYSTAL
摘要
申请公布号 KR0127998(B1) 申请公布日期 1998.04.01
申请号 KR19970036437 申请日期 1997.07.31
申请人 FUJITSU KK. 发明人 HARAM, AKITO;KOIZUKA, MASAAKI
分类号 C30B33/02;(IPC1-7):C30B33/02 主分类号 C30B33/02
代理机构 代理人
主权项
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