Device for calibrating a network analyser for on-wafer measurement of an integrated microwave circuit

摘要

Bei einer Anordnung zum Kalibrieren eines Netzwerkanalysators für die On-Wafer-Messung an Mikrowellenschaltungen auf einer metallischen Grundplatte einer Wafer-Meßeinrichtung mittels in koplanarer Leitungstechnik auf einem Kalibriersubstrat ausgebildeten Kalibrierstandards ist das Kalibriersubstrat im Abstand oberhalb der metallischen Grundplatte angeordnet.