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发明名称 Support table for plate-like body and processing apparatus using the table
摘要
申请公布号 EP0467390(B1) 申请公布日期 1998.04.01
申请号 EP19910112119 申请日期 1991.07.19
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED;KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 NOZAWA, TOSHIHISA;ARAMI, JUNICHI;HASEGAWA, ISAHIRO;OKANO, HARUO
分类号 C23C14/50;C23C14/54;C23C16/458;C23C16/509;H01J37/34;H01L21/00;H01L21/683;(IPC1-7):C23C14/50;C23C16/44;C23C16/50;C23F4/00 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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