| 发明名称 |
Standardized mechanical interface (SMIF) pod. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0684631(B1) |
申请公布日期 |
1998.04.01 |
| 申请号 |
EP19950400025 |
申请日期 |
1995.01.05 |
| 申请人 |
FLUOROWARE, INC. |
发明人 |
WILLIAMS, RANDALL S.;CHEESEBROW, NICHOLAS T. |
| 分类号 |
B65D85/86;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00;B65B69/00 |
主分类号 |
B65D85/86 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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