发明名称 |
Perimeter wafer seal and method of using the same |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0398589(B1) |
申请公布日期 |
1998.04.01 |
申请号 |
EP19900305052 |
申请日期 |
1990.05.10 |
申请人 |
GENUS, INC. |
发明人 |
STUDLEY, DAVID K.;KELLER, ERNST |
分类号 |
C23C16/44;C23C16/458;H01L21/205;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
C23C16/44 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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