| 发明名称 |
ON-SITE AMMONIA PURIFICATION FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0831978(A1) |
申请公布日期 |
1998.04.01 |
| 申请号 |
EP19960922410 |
申请日期 |
1996.06.05 |
| 申请人 |
STARTEC VENTURES, INC. |
发明人 |
HOFFMAN, JOE, G.;CLARK, SCOT R. |
| 分类号 |
B08B3/08;B01D3/00;B01D53/14;C01B7/19;C01C1/02;C01C1/16;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/311;(IPC1-7):B08B7/04;B01D1/00;B01D3/02;B01D3/14;B01D3/34;C01B7/07;F26B7/00 |
主分类号 |
B08B3/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
