微小型一体化平面精密运动机构及其装置

摘要

本发明涉及一种微小型一体化平面精密运动机构及其装置,包括运动台面、柔性铰链杠杆机构、箝位件和固定底板。柔性铰链杠杆机构由压电/电致伸缩致动件、中心联接件、四个支撑杠杆、四个边框杠杆与四个边框架联接件通过柔性铰链连接而成。该机构由于减少驱动件的数量有利于驱动控制,适合点到点的微进给定位。对称结构有利于保证机构沿X、Y轴运动的方向性。结构简单紧凑易于微小型化,不仅可用于XYθ超精密工作台,亦可用于微小型平动机器人。

主权项

1、一种微小型一体化平面精密运动机构，其特征在于，该机构包括杠杆ab、oc，铰链o、a、b、c，压电/电致伸缩致动件以及中心箝位件、x方向箝位件、y方向箝位件和θ方向箝位件；所述的杠杆和绞链组成直角三角形oab、oac、obc；所述的伸缩致动件置于中心箝位件和x方向箝位件之间；所述的中心箝位件与铰链o固联，x方向箝位件与铰链a固联，y方向箝位件与铰链b固联，θ方向箝位件与杠杆oc固联。