发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH1084044(A) 申请公布日期 1998.03.31
申请号 JP19960237476 申请日期 1996.09.09
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 YUASA HIROSHI;SAKURAI KOJI;YAMAOKA TORU;HONDA KOJI
分类号 H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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