| 发明名称 |
MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1083980(A) |
申请公布日期 |
1998.03.31 |
| 申请号 |
JP19960236139 |
申请日期 |
1996.09.06 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MIYAKE TATSUYA;PETETSUKU HARUBUOE |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/336;H01L23/52;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/304;H01L21/306;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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