发明名称 REFLECTION-TYPE OPTICAL ENCODER
摘要
申请公布号 JPH1082661(A) 申请公布日期 1998.03.31
申请号 JP19960239015 申请日期 1996.09.10
申请人 HARMONIC DRIVE SYST IND CO LTD 发明人 ITO YOSHINORI;CHINO TADAO
分类号 G01D5/30;C23C14/04;C23F1/00;G01P3/486;H03M1/30;(IPC1-7):G01D5/30 主分类号 G01D5/30
代理机构 代理人
主权项
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