等离子体蚀刻设备和用这种设备制造的液晶显示模块

摘要

本发明介绍了一种等离子体蚀刻设备,它可以防止用于等离子体蚀刻的在LCD玻璃母基底上构图的光致抗蚀剂被灼伤。该设备包括一阴极电极保护盖,它安装在阴极电极的边缘部位,用于向LCD玻璃母基底提供RF源和冷却LCD玻璃母基底。阴极电极保护盖的上表面比阴极电极的上表面高。因此,阴极电极可以与LCD玻璃母基底接触。结果,可以预先防止LCD玻璃母基底的冷却效率差的问题,并且光致抗蚀剂不会灼伤。

主权项

1、一种等离子体蚀刻设备，包括：一等离子体室，LCD玻璃母基底在其内通过等离子体蚀刻；一阳极，形成于所述等离子体室的相对侧；一阴极，它包括： 一可导电转动轴，它可转动地安装在所述等离子体室内； 一绝缘体，它形成于所述转动轴上； 一阴极电极，形成于所述绝缘体的上、下表面上，位于所述阳极的对面，并且与所述转动轴电连接； 一阴极电极保护盖，用于覆盖没有被装在所述阴极电极上的LCD玻璃母基底盖住的所述阴极电极的边缘部分；和 一夹持装置，用于将所述LCD玻璃母基底夹紧在所述阴极电极上；一RF源提供装置，用于为所述阴极的转动轴提供RF源；一源气体提供装置，用于为所述等离子体室提供源气体；和一排气装置，用于排出残余气体和废气体，其中，当所述阴极电极保护盖和所述阴极电极连接时，所述阴极电极保护盖的高度大于所述阴极电极的高度。