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发明名称 SEMICONDUCTOR DIAMOND AND ITS FORMATION
摘要
申请公布号 JPH1081588(A) 申请公布日期 1998.03.31
申请号 JP19960235156 申请日期 1996.09.05
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAKAHASHI KUNIMASA;GOTO TOSHIO;HORI MASARU;DEGUCHI MASAHIRO
分类号 C30B29/04;C30B31/08;H01L21/205;(IPC1-7):C30B29/04 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
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