| 发明名称 |
CHEMICAL SOLUTION TREATMENT AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1081984(A) |
申请公布日期 |
1998.03.31 |
| 申请号 |
JP19960255575 |
申请日期 |
1996.09.05 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD |
发明人 |
SUZUKI JUNICHI |
| 分类号 |
C25D21/00;C23G3/00;H01L21/304;(IPC1-7):C23G3/00 |
主分类号 |
C25D21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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