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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1082835(A) 申请公布日期 1998.03.31
申请号 JP19960235190 申请日期 1996.09.05
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TANAKA TATSUYA
分类号 G01R31/28;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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