发明名称 VUV–透镜及镜框之耐久接合技术
摘要 一种将一由非金属,尤其是透明材料,最好是石英玻璃或氟化钾,制成的光学元件(1)固定在一镜框(3)或镜框元件上之方法,该镜框(3)或镜框元件设有一与光学元件(1)构成一缝隙的面(30),- 构成缝隙的面(30)被涂覆一焊料,其最好是熔点约在100℃以下的金属(2),- 光学元件(1)靠附该金属(2),- 金属(2)被熔化,而与光学元件(1)产生形状配合连接。以此方法制作之光学基本组件及显微镜或微石版印刷投影曝光设施。
申请公布号 TW396286 申请公布日期 2000.07.01
申请号 TW087119686 申请日期 1998.11.27
申请人 卡尔蔡司公司 发明人 胡伯侯德尔;约翰尼斯克利斯
分类号 G02B7/00 主分类号 G02B7/00
代理机构 代理人 庄国明 台北巿济南路三段四十七号四楼
主权项 1.一种光学基本组件,包括一非金属,尤其是透明材料制成的光学元件(1)与一镜框(3),其特征在于,在光学元件(1)与镜框(3)之间设一层焊料(2),其最好是熔点约在100℃以下的金属,且与光学元件(1)形状配合连接。2.根据申请专利范围第1项之光学基本组件,其中镜框(3)或镜框元件设有一承载面(31),光学元件(1)直接置于其上。3.根据申请专利范围第1项光学基本组件,其中焊料层(2)厚度为0.1mm。4.根据申请专利范围第1项之光学基本组件,其中光学元件(1)是一透镜,最好是由石英玻璃或氟化钾构成。5.根据申请专利范围第1项之光学基本组件,其中镜框(3)与焊料层(2)皆为环形。6.根据申请专利范围第1项之光学基本组件,其中镜框(3)或镜框元件之热延展配合光学元件(1)。7.根据申请专利范第1项所述之光学基本组件,其中,各该光学组件可使用于360nm以下光谱范围的光学系统。8.根据申请专利范第1项所述之光学基本组件,其中,各该光学基本组件可使用于显微镜。9.根据申请专利范第1项所述之光学基本组件,其中,各该光学组件可使用于一种微石版印刷投影曝光设施。10.一种将一由非金属,尤其是透明材料,最好是石英玻璃或氟化钾,制成的光学元件(1)固定在一镜框(3)或镜框元件上之方法,该镜框(3)或镜框元件设有一与光学元件(1)构成一缝隙的面(30),-构成缝隙的面(30)被涂覆一焊料,其最好是熔点约在100℃以下的金属(2),-光学元件(1)靠附该金属(2),-金属(2)被熔化,而与光学元件(1)产生形状配合连接。11.根据申请专利范围第10项之方法,其特征在于,镜框(3)或镜框元件设有一承载面(31),光学元件(1)直接置于此承载面(31)上。12.根据申请专利范围第10项之方法,其中熔点约在100℃以下的金属放入镜框(3)厚度为0.1mm的一个夹层(2)中。13.根据申请专利范围第10项之方法,其中焊料(2)以电镀法涂覆。14.根据申请专利范围第10项之方法,其中置入光学元件(1)前,对焊料(2)进行切削加工,尤其是车削。15.根据申请专利范围第10项之方法,其中熔化焊料(2)时,以一支架使光学元件(1)对镜框(3)固定。16.根据申请专利范围第10项之方法,其中光学元件(1)是一透镜。17.根据申请专利范围第10项之方法,其中构成缝隙的面(30)为环状,且焊料(2)为一环状层。18.根据申请专利范围第10项之方法,其中熔化焊料(2)或金属时,将光学元件(1)与镜框(3)或镜框元件整个光学基本组件均匀加热,然后冷却。图式简单说明:第一图以截面显示一透镜1.其被一软焊料构成的环2固定在一镜框3中。
地址 德国