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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH1084052(A) 申请公布日期 1998.03.31
申请号 JP19960237806 申请日期 1996.09.09
申请人 HITACHI LTD 发明人 OKAZAKI TSUTOMU
分类号 H01L21/8247;H01L21/76;H01L27/10;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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