发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1083963(A) 申请公布日期 1998.03.31
申请号 JP19960257649 申请日期 1996.09.06
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 TAKADERA HIROYUKI
分类号 H01L21/22;H01L21/205;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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