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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND TESTING METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH1082833(A) 申请公布日期 1998.03.31
申请号 JP19960234867 申请日期 1996.09.05
申请人 NEC CORP 发明人 UMEKI YOSHITAKA
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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