| 发明名称 |
APPARATUS FOR MEASURING FILM THICKNESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1082631(A) |
申请公布日期 |
1998.03.31 |
| 申请号 |
JP19960257834 |
申请日期 |
1996.09.06 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
IMAI MASAYUKI;AMAMIYA MASAAKI;HASEBE KAZUHIDE;KANEKO KIMIHITO |
| 分类号 |
G01B11/06;G01B21/08;H01L21/66;(IPC1-7):G01B21/08 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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