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发明名称
MICROSCOPIC STEP-MEASURING APPARATUS OF SHEARING INTERFERENCE CONTRAST METHOD
摘要
申请公布号
JPH1082615(A)
申请公布日期
1998.03.31
申请号
JP19960257475
申请日期
1996.09.06
申请人
NAMIKI MICHIO
发明人
NAMIKI MICHIO
分类号
G01B11/02;G01B11/22;G02B21/00;(IPC1-7):G01B11/02
主分类号
G01B11/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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