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发明名称
摘要
申请公布号 JP2732500(B2) 申请公布日期 1998.03.30
申请号 JP19890165192 申请日期 1989.06.29
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 KAWASAKI KATSUHIRO;ANDO HIROZUMI
分类号 H01L21/30;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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