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发明名称
摘要
申请公布号 JP2734337(B2) 申请公布日期 1998.03.30
申请号 JP19930116757 申请日期 1993.05.19
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 HASEGAWA SHINYA
分类号 G01B15/04;H01J37/244;H01J37/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/244 主分类号 G01B15/04
代理机构 代理人
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