| 发明名称 |
HIGH-FREQUENCY PLASMA REACTOR HAVING HYBRID CONDUCTOR AND MULTI-RADIUS DOME CEILING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1083987(A) |
申请公布日期 |
1998.03.31 |
| 申请号 |
JP19970189902 |
申请日期 |
1997.07.15 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
YIN GERALD ZHEYAO;MA DIANA XIABLING;SALZMAN PHILIP;LOEWENHARDT PETER K;ZHAO ALLEN;COLLINS KENNETH |
| 分类号 |
H01L21/3065;C23C14/24;C23C14/54;C23C16/50;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/3065 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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