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发明名称
摘要
申请公布号 JP2733872(B2) 申请公布日期 1998.03.30
申请号 JP19900508961 申请日期 1990.06.29
申请人 MAIKUROMASU LTD 发明人 BAAKINSHOO KIISU
分类号 G01N27/62;G01T1/24;G01T1/28;H01J43/24;H01J49/02;H01J49/06;H01L27/14;(IPC1-7):G01T1/24 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
主权项
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