发明名称 TURBO MOLECULAR PUMP
摘要
申请公布号 JPH1077993(A) 申请公布日期 1998.03.24
申请号 JP19960234431 申请日期 1996.09.04
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 OTA TOMOO
分类号 F04D27/00;F04D19/04;(IPC1-7):F04D27/00 主分类号 F04D27/00
代理机构 代理人
主权项
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