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经营范围
发明名称
METHOD OF FORMING INSULATING FILM
摘要
申请公布号
JPH1079384(A)
申请公布日期
1998.03.24
申请号
JP19960233983
申请日期
1996.09.04
申请人
SONY CORP
发明人
SATO JUNICHI
分类号
H01L21/768;H01L21/316;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/316
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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