| 发明名称 |
POLISHING METHOD AND POLISHING DEVICE USING THEREWITH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1076464(A) |
申请公布日期 |
1998.03.24 |
| 申请号 |
JP19960248746 |
申请日期 |
1996.08.30 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
CHICHII MASARU;BAN MINOKICHI |
| 分类号 |
G01B11/06;B24B49/12;H01L21/66;(IPC1-7):B24B49/12 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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