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发明名称 VACUUM FILM-FORMING METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1079359(A) 申请公布日期 1998.03.24
申请号 JP19960234055 申请日期 1996.09.04
申请人 NEC CORP 发明人 KATO HIROYUKI
分类号 C23C14/06;C23C14/50;C23C14/56;H01L21/203;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
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