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发明名称 SPUTTERING METHOD
摘要
申请公布号 JPH1079358(A) 申请公布日期 1998.03.24
申请号 JP19960235165 申请日期 1996.09.05
申请人 NEC CORP 发明人 HOSHINO AKIRA
分类号 C23C14/34;C23C14/54;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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