| 发明名称 |
PLASMA TREATING METHOD AND PLASMA TREATING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1079372(A) |
申请公布日期 |
1998.03.24 |
| 申请号 |
JP19960232987 |
申请日期 |
1996.09.03 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KUBOTA MASABUMI;HAYASHI SHIGENORI;YAMANAKA MICHINARI;FUKUTO KENJI |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C16/50;C23C16/511;C23C16/515;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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