发明名称 ILLUMINATOR FOR INSPECTING SUBSTANTIALLY FLAT SURFACES
摘要
申请公布号 IL140248(D0) 申请公布日期 2002.02.10
申请号 IL19980140248 申请日期 1998.06.16
申请人 发明人
分类号 G01N21/88;G01N21/956;G02B5/10;G02B7/182;(IPC1-7):G01N 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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