| 发明名称 |
Device for handling wafer-shaped objects in a handling plane of a local clean room |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG47081(A1) |
申请公布日期 |
1998.03.20 |
| 申请号 |
SG19960005812 |
申请日期 |
1994.03.25 |
| 申请人 |
JENOPTIK AG |
发明人 |
GAGLIN AXEL;LAHNE BERNDT;SCHULTZ KLAUS |
| 分类号 |
B65G49/07;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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