| 发明名称 |
PROCEDE DE DEPOT SELECTIF D'UN SILICIURE DE METAL REFRACTAIRE SUR DU SILICIUM ET PLAQUETTE DE SILICIUM METALLISEE PAR CE PROCEDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2742924(B1) |
申请公布日期 |
1998.03.20 |
| 申请号 |
FR19950015327 |
申请日期 |
1995.12.22 |
| 申请人 |
REGOLINI JORGE LUIS |
发明人 |
REGOLINI JORGE LUIS;BENSAHEL DANIEL |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/285;H01L21/336;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285;C23C16/02;C23C16/42 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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