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经营范围
发明名称
METHOD OF WASHING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH1079365(A)
申请公布日期
1998.03.24
申请号
JP19960234842
申请日期
1996.09.05
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
ONISHI TERUTO
分类号
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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