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发明名称 End effector and method for loading and unloading disks at a processing station
摘要
申请公布号 SG47211(A1) 申请公布日期 1998.03.20
申请号 SG19970000636 申请日期 1997.03.03
申请人 KOMAG, INC. 发明人 ALLEN RONALD;BAE, PETER, S.;FUKUI, KENNETH, D.;OSHIRO, GEN, E.
分类号 B24B41/06;G11B5/84;H01L21/683;(IPC1-7):G11B5/84 主分类号 B24B41/06
代理机构 代理人
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