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发明名称 CIBLES DE PULVERISATION CATHODIQUE SELECTIONNEES PAR CONTROLE ULTRASONS POUR LEUR FAIBLE TAUX D'EMISSIONS DE PARTICULES
摘要
申请公布号 FR2744805(B1) 申请公布日期 1998.03.20
申请号 FR19960001990 申请日期 1996.02.13
申请人 ALUMINIUM PECHINEY 发明人 LEROY MICHEL;MULLER JEAN
分类号 G01N29/04;C23C14/34;C23C14/54;C23F4/00;G01N29/11;G01N29/30;(IPC1-7):G01N29/04;C22F1/043;H01L21/66 主分类号 G01N29/04
代理机构 代理人
主权项
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