发明名称 Herstellungsverfahren eines selbstjustierenden Kontakts
摘要
申请公布号 DE69222390(T2) 申请公布日期 1998.03.19
申请号 DE19926022390T 申请日期 1992.10.26
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS, INC., CARROLLTON, TEX., US 发明人 CHE-CHIA, WEI, PLANO, TEXAS 75093, US
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L21/60;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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