发明名称 PROCESS FOR PREPARATION OF POLYCRYSTALLINE SILICON
摘要
申请公布号 EP1392601(B1) 申请公布日期 2004.09.22
申请号 EP20020737219 申请日期 2002.05.23
申请人 HEMLOCK SEMICONDUCTOR CORPORATION 发明人 KENDIG, JAMES, EDWARD;LANDIS, DAVID, RUSSELL;MCQUISTON, TODD, MICHAEL;ZALAR, MICHAEL, MATTHEW
分类号 C01B33/03;C01B33/035;C01B33/04;C01B33/107;(IPC1-7):C01B33/03 主分类号 C01B33/03
代理机构 代理人
主权项
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