电子发射器件、电子源的制造方法和用该方法制成的图像形成装置及该方法所用的制造设备

摘要

一种电子发射器件,它包括有电子发射区和一对供给导电膜电压的器件电极的导电膜。对导电膜涂有机物膜,电赋能导电膜使有机物碳化,碳化之前在导电膜中形成一条或多条裂缝,由此形成电子发射器件。大量的电子发射器件构成电子源,进一步构成图像形成装置,该装置外壳内设置电子源和图像显示部件。

主权项

1、一种电子发射器件的制造方法，该电子发射器件有包括电子发射区和对导电膜加电压的一对器件电极，其特征在于形成电子发射区的步骤包括：对导电膜涂敷有机膜，至少对导电膜电激励赋能使有机物碳化，在碳化步骤之前在导电膜上形成一条或多条裂缝。