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发明名称 LITHOGRAPHIC SCANNING EXPOSURE PROJECTION APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0829036(A1) 申请公布日期 1998.03.18
申请号 EP19970906327 申请日期 1997.03.25
申请人 ASM LITHOGRAPHY B.V. 发明人 STRAAIJER, ALEXANDER;DE JAGER, RONALD, ANDRE, MARIA
分类号 G03F7/20;G03F7/22;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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