混合研磨剂抛光组合物及使用彼等之方法

摘要

本发明系提供一种抛光组合物，其包含(i)一种研磨剂，其包含(a)5至45重量％Mohs硬度为8或更大之第一研磨剂粒子，(b)1至45重量％三维结构中含有较小原始粒子集结物之第二研磨剂粒子，及(c)10至90重量％包含矽石之第三研磨剂粒子，和(ii)液体载剂。本发明也提供一种抛光基板之方法，该方法包含(i)提供上述抛光组合物，(ii)提供具有一表面之基板，并(iii)以该抛光组合物磨耗至少一部分基板表面以抛光该基板等步骤。