辐射敏感性树脂组成物

摘要

本发明系具有硷不溶性或硷难溶性，藉由酸作用成为硷易溶性之特定结构，含有活性自由基聚合所得之含酸解离性基之树脂，及辐射敏感性酸产生剂之辐射敏感性树脂组成物，该含酸解离性基之树脂之重量平均分子量与数目平均分子量之比(重量平均分子量／数目平均分子量)小于1.5的辐射敏感性树脂组成物。