| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM AND METHOD PROVIDING SHIELDED OPTICAL PYROMETRY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0828999(A1) |
申请公布日期 |
1998.03.18 |
| 申请号 |
EP19960915663 |
申请日期 |
1996.05.09 |
| 申请人 |
MATTSON TECHNOLOGY INC. |
发明人 |
JOHNSGARD, KRISTIAN, E.;MCDIARMID, JAMES |
| 分类号 |
C23C16/48;G01J5/00;H01L21/00;(IPC1-7):G01J5/00;C23C16/52 |
主分类号 |
C23C16/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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