| 发明名称 |
Micromechanical element and method for producing the same |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0626751(B1) |
申请公布日期 |
1998.03.18 |
| 申请号 |
EP19940107003 |
申请日期 |
1994.05.04 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
ZETTLER, THOMAS, DR. |
| 分类号 |
H01L21/28;H01H1/00;H01L21/306;H02N1/00;(IPC1-7):H02N1/00 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
