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发明名称
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摘要
申请公布号
JPH1073406(A)
申请公布日期
1998.03.17
申请号
JP19960228045
申请日期
1996.08.29
申请人
HITACHI LTD;HITACHI INSTR ENG CO LTD
发明人
MISHIRO TAKAHIRO;MIZUNO ICHII
分类号
G01B11/00;H01J37/20;(IPC1-7):G01B11/00
主分类号
G01B11/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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