| 发明名称 |
DEVICE FOR FORMING DIAMOND-LIKE CARBON THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1072286(A) |
申请公布日期 |
1998.03.17 |
| 申请号 |
JP19960230550 |
申请日期 |
1996.08.30 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KAJITA NAOYUKI;YAMAJI SHIGERU;NAKATANI HAJIME |
| 分类号 |
C30B29/04;C23C16/26;C23C16/27;(IPC1-7):C30B29/04 |
主分类号 |
C30B29/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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